电感耦合等离子体质谱技术是目前公认的强有力的元素分析技术，在元素分析和同位素分析中发挥着举足轻重的重要作用。在ICP-MS 应用中,地质样品分析应用得较早，也较为广泛,并且始终是一个重要领域。当前,地学研究和正在开展的多目标地质调查对分析技术提出越来越高的要求：更多元素测定种类，更低的检测线。目前， ICP MS法，在地质、矿产中主要的应用热点方向：

1.常规微量元素分析

做为区域化探图编制研究的主导设备，结合先进的化学分离富集方法，对于绝大多数元素的配套分析问题，形成以ICP-MS为主，辅之以其他分析技术的新一代地球化学样品分析配套系统

2.稀土以及锆、铪等痕量、超痕量元素分析

3.溴、碘、砷、硒等非金属元素分析

4.同位素比值分析

目前，ICP-MS已经真正在许多领域，尤其是地球科学以及环境领域的同位素比值测定中得到了很多应用。这主要是因为ICP-MS具有好的灵敏度、好的准确度和精密度。与传统使用的同位素比值测定方法相比，ICP-MS具有样品分析速度快,样品处理简单，可测定高电离电位元素的优点。随着分析技术的进步，ICP MS与其它手段的联用技术（激光剥蚀、色质联用等），也在地质、矿产领域取得了令人瞩目的成果。